半导体硅部件材料
1、高端拉晶工艺Know-how积累;
2、7S精益管理,锻造卓越品质;
3、自研自产,电性能优异;
4、高纯度、大尺寸、可定制。
我司生产的大尺寸高纯半导体单晶硅材料是芯片制程中的主要耗材用料,可进一步加工为硅环、硅电极、硅喷管、硅保温桶等核心部件。优异的纯度、稳定的电学性能与均一晶体品质,能够有效降低颗粒污染、稳定工艺环境,提升晶圆制造良率。
产品矩阵
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产品类型:单晶
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电阻率类型:低电阻(0.001-0.1Ω·cm)、一般电阻(1-4Ω·cm)、高电阻(30-90Ω·cm)
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拉制尺寸:10-24寸
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掺杂类型:P型/N型
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①除常规产品外,公司可根据客户需求生产制作各类定制化硅部件材料。
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②使用的原材料为电子级硅料,纯度>9N。
产品应用
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硅环
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硅电极
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硅排气环
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硅喷管
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硅保温桶
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硅舟
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硅舟基座
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硅内管