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N型硅片

  • 成熟工艺,N型高效技术

  • 先进设备,推进降本增效

  • 6S精益管理,锻造卓越品质

  • 大尺寸,薄片化,低硅耗,高效率、可定制

  • 少子寿命:≥1000us

  • 电阻率:0.3-2.1Ω.cm

  • 碳含量:≤0.5×1017atoms/cm3

  • 氧含量:≤6.0×1017atoms/cm3

尺寸

  • 182硅片
    尺寸 :182±0.25mm
    掺杂方式 :N型掺磷
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  • 210硅片
    尺寸 :210±0.25mm
    掺杂方式 :N型掺磷
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材料特性

项目规格检测方法
生长方式 CZ /
晶体晶向 <100>±3° X射线衍射定向法
导电类型 N型 P/N型测试仪
位错密度/cm² ≤500 X射线衍射仪(ASTM F26-1987)
项目 生长方式
规格 CZ
检测方法 /
项目 晶体晶向
规格 <100>±3°
检测方法 X射线衍射定向法
项目 导电类型
规格 N型
检测方法 P/N型测试仪
项目 位错密度/cm²
规格 ≤500
检测方法 X射线衍射仪(ASTM F26-1987)

电性能

项目规格检测方法
氧含量 ≤6.0×1017atoms/cm3 傅里叶变换红外光谱仪
碳含量 ≤0.5×1017atoms/cm3 傅里叶变换红外光谱仪
电阻率 0.3-2.1Ω.cm 硅片自动检测设备
少子寿命 ≥1000us Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3)
项目 氧含量
规格 ≤6.0×1017atoms/cm3
检测方法 傅里叶变换红外光谱仪
项目 碳含量
规格 ≤0.5×1017atoms/cm3
检测方法 傅里叶变换红外光谱仪
项目 电阻率
规格 0.3-2.1Ω.cm
检测方法 硅片自动检测设备
项目 少子寿命
规格 ≥1000us
检测方法 Sinton BCT-400 QSSPC准稳态光电导衰减法 Transient瞬态光电导衰减法 (with injection level: 1E15 cm-3)

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